Chambre de dépôt de couches minces par ablation laser (pulsed laser deposition (PLD) chamber)

Cette chambre doit être compatible avec un système RHEED à haute pression existant ainsi qu’avec d’autres méthodes de dépôt et de traitement de couches comme la pulvérisation cathodique RF, des sources d’ions ou d’atomes (gravure) et même des cellules à effusion. Le système devrait permettre de faire des dépôts sur des substrats de 5 cm (2 pouces) de diamètre qui peuvent être installé dans la chambre principale de dépôt via un sas (loadlock). Note: Un laser excimer, un banc optique et le système RHEED pour ce système sont déjà sur le site et seront déjà fournis par le client. Description sommaire des options : Aucune option demandée Livraison demandée : Au plus tard au milieu octobre 2017 Garantie de soumission : Aucune garantie de soumission n’est exigée. Garantie d'exécution : Aucune garantie d'exécution n’est exigée. Disponibilité du document d'appel d'offres : Le document d'appel d'offres est disponible auprès du système électronique d'appel d'offres SEAO. Présentation des soumissions : Seules les soumissions reçues au plus tard à l'heure et à la date limites fixées pour la réception des soumissions, sous pli cacheté et bien identifiées seront considérées. Il est de la responsabilité du fournisseur ou du prestataire de services de s'assurer que les documents soient acheminés à l'endroit indiqués aux documents d'appel d'offres. Ouverture des soumissions : Toute personne désirant assister à l'ouverture des soumissions doit se présenter à l'endroit, à la date et à l'heure indiqués aux documents d'appel d'offres. Réserve : L'Université de Sherbrooke se réserve le droit, au moment de l'analyse des soumissions, de refuser toutes les soumissions présentées, même la plus basse.