Matériel et fournitures de laboratoire

Matériel et fournitures de laboratoire

31184-180510/B
Courteau, Robert
N° de téléphone - (numéro sur l'avis officiel)

Définition du besoin

Le Centre canadien de fabrication de dispositifs photoniques (CCFDP) offre un guichet unique de services d'ingénierie et de fabrication de tout premier ordre, des services de prototypage de classe commerciale et des installations pour les essais de production. Le laboratoire de fabrication du CCFDP utilise divers équipements spécialisés pendant le processus de fabrication de ces dispositifs photoniques. Le groupe Photolithographie du CCFDP est appelé à effectuer des inspections optiques à de nombreuses étapes du processus et doit également utiliser une combinaison additionnelle d'un dispositif de manipulation de plaquette automatisé et d'un microscope d'inspection pour répondre aux exigences opérationnelles supplémentaires.

Spécifications obligatoires du microscope

1. 1.
   La platine doit pouvoir faire un mouvement manuel (non motorisé) de 6 po x 6 po
2. 2.
   Le ou les outils doivent être configurables pour traiter des plaquettes de 3 po, 4 po et 6 po
3. 3.
   Le ou les outils doivent avoir une capacité de mise au point manuelle
4. 4.
   Le ou les outils doivent être munis d'un éclairage DEL
5. 5.
   Le microscope doit avoir la capacité de plusieurs grossissements
6. 6.
   Nécessite des objectifs 2,5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x
7. 7.
   Objectifs à longue distance de travail requis
8. 8.
   Tous les objectifs doivent être configurés pour maintenir la focalisation
9. 9.
   Pour augmenter la vitesse du système, la tourelle doit être motorisée
10. 10.
    Le microscope doit être à images droites
11. 11.
    Le microscope nécessitera des fonds clairs et des fonds sombres
12. 12.
    Filtres requis : polariseur, DIC
13. 13.
    Filtre de densité neutre ND4, ND16, GIF, coupure abrupte UV, équilibre des couleurs
14. 14.
    Le microscope doit être équipé d'un appareil photo numérique
15. 15.
    Le microscope doit pouvoir être à vue partagée pour permettre à l'opérateur de visualiser l'image au microscope et sur vidéo/caméra
16. 16.
    L'appareil photo doit avoir un logiciel de mesure

Spécifications obligatoires du chargeur automatique

1. 1.
   L'outil doit pouvoir manipuler une variété de tailles et de types de plaquettes
2. 2.
   L'outil doit pouvoir manipuler des plaquettes de silicium ainsi que des plaquettes d'InP et de GaAs d'épaisseur standard
3. 3.
   L'ensemble d'outils doit pouvoir traiter des plaquettes de 3 po, 4 po et 6 po; l'élévateur doit avoir des capteurs pour des plaquettes de 3 po, 4 po, 6 po et des cassettes
4. 4.
   Le dispositif de manipulation de plaquette doit pouvoir détecter les plaquettes vides et à fentes croisées
5. 5.
   Le microscope et le dispositif de manipulation de plaquettes doivent être intégrés
6. 6.
   Aucune modification ne doit être requise pour passer d'une taille à une autre (3 po à 4 po)
7. 7.
   Le chargeur automatique doit pouvoir manipuler une seule cassette

Plus de détails peuvent être trouvés dans les documents de sollicitation.
Date de livraison : Indiquée ci-dessus

L'État se réserve le droit de négocier les conditions de tout marché avec les fournisseurs.

Les documents peuvent être présentés dans l'une ou l'autre des langues officielles du Canada.