CD-SEM et FE-SEM

CD-SEM et FE-SEM

31184-226592/A
Van Den Hanenberg, Stephen
Telephone No. (numéro sur l'avis officiel)

GSIN: N6640

1. Préavis d'adjudication de contrat (PAC)
Un PAC est un avis public informant la collectivité des fournisseurs qu'un ministère ou organisme a l'intention d'attribuer un contrat pour des biens, des services ou des travaux de construction à un fournisseur sélectionné à l'avance, ce qui permet aux autres fournisseurs de signaler leur intérêt à soumissionner en présentant un énoncé des capacités. Si aucun fournisseur ne présente un énoncé des capacités qui satisfait aux exigences établies dans le PAC, au plus tard à la date de clôture indiquée dans le PAC, l'agent de négociation des contrats peut procéder à l'attribution du contrat au fournisseur sélectionné à l'avance.

2. Définition des besoins
Le Conseil national de recherche du Canada (CRNC) a besoin d’outils automatisés de mesure de dimension critique pour appuyer ses activités de fonderie grandissantes. Un Hitachi CD-SEM CS4800 et un Hitachi SU8600 FE-SEM complémentaire sont requis pour accroître la capacité de production et améliorer le programme d’assurance de la qualité de la fonderie. Le CD-SEM doit traiter des porte-plaquettes comprenant des plaquettes de différentes tailles simultanément (diamètres de 3 et de 4 po) et partager un algorithme commun d’acquisition des données avec le SU8600 pour une corrélation en douceur des mesures de dimension critique entre les plateformes CD-SEM (microscope électronique à balayage à dimension critique) et FE-SEM (microscope électronique à balayage à émission de champ).

Le Hitachi CD-SEM CS4800 sera utilisé pour les méthodes descendantes de mesure à de forts grossissements (jusqu’à 300 000x) à très haute résolution et répétabilité très élevée. Le CD-SEM intégrera l’automatisation par porte-plaquettes pour une production accrue et sera utilisé pour définir la topographie de surface et la composition mesurées.

Pour répondre aux besoins des clients du CRNC, c’est-à-dire de nouveaux dispositifs à semi conducteur et électroniques, le Hitachi CS4800 CD-SEM et le Hitachi SU8600 FE-SEM permettent la configuration par l’utilisateur pour inclure deux différentes tailles de porte-plaquettes et traiter différents types de plaquettes, par exemple au phosphure d’indium (InP), arsénure de gallium (GaAs), silicium (Si), carbure de silicium (SiC) et nitrure de gallium (GaN). L’acquisition de ces outils permettra au CRNC d’appuyer le plan de migration stratégique pour passer d’une chaîne de plaquettes de 3 po à une chaîne de plaquettes durable de 4 po.

3. Critères d'évaluation de l'énoncé des capacités (Exigences essentielles minimales)
Tout fournisseur intéressé doit démontrer au moyen d'un énoncé des capacités que son produit/matériel/système (selon le cas) satisfait aux exigences suivantes :

Hitachi CD-SEM CS4800

• Le CD-SEM doit doit comprendre un logiciel gestionnaire de données (GPS) afin de permettre à des mesures de dimensionnement critique de corrélation directe entre le CD-SEM et le FE-SEM;
• L’empreinte CD-SEM ne doivent pas dépasser 1,2 mètres de largeur et 2,7 mètres de profondeur;
• Le CD-SEM doit transférer des porte-plaquettes de 3 à 8 po comprenant divers types de plaquettes, entre autres au InP, GaAs, GaN, Si et SiC;
• Le CD-SEM doit avoir une configuration d'autochargeur à deux ports;
• Le CD-SEM doit être configuré avec 3 » et 4 » la cassette à cassette ports de chargement;
• Le CD-SEM doit être capable de prendre des mesures automatisées des porte-plaquettes de 3 po et 4 po;
• Le CD-SEM doit permettre à l’utilisateur de configurer les porte-plaquettes et la taille des plaquettes;
• Le CD-SEM doit permettre d'acquérir des images au microscope électronique à balayage haute résolution de 2 nm à 800 V;
• Le CD-SEM doit permettre le grossissement de 4 000x à 300 000x, inclusivement;
• Le CD SEM doit comprendre un embout thermique pour éliminer le clignotement;
• Le CD-SEM doit comprendre un microscope optique 110x pour localiser la zone d’intérêt;
• Le CD-SEM doit mesurer les réseaux à motif en photorésine (pas d’une longueur nominale d’environ 200 nm);
• Le CD-SEM doit avoir une tension accélérée de 300 à 1 600 V, inclusivement;
• Le CD-SEM doit produire des images au microscope électronique à balayage de 512~2048 pixels;
• Le CD-SEM doit offrir une répétabilité des mesures de+/- 1 % de la valeur de la dimension critique ou 1 nm (3 sigma);
• Le CD-SEM doit avoir une plage de mesure de 0,05 um à 2,0 um, inclusivement;
• Le CD-SEM doit être capable de traiter au moins 12 plaquettes par heure;
• Le CD-SEM doit être capable de traiter 40 plaquettes par heure (en double);
• Le CD-SEM doit mesurer des caractéristiques simples et multiples en utilisant des algorithmes de reconnaissance de formes;
• Le CD-SEM doit être doté d’applications de métrologie en modes automatisés pour mesurer des lignes simples, des lignes multiples et des espaces;
• Le CD-SEM doit produire des fichiers texte de données sortantes en MSR et les convertir en Excel avec des résultats regroupés;
• Le CD-SEM doit transmettre des données numériques à un endroit éloigné pour présenter les résultats des mesures à un hôte;
• Le CD-SEM doit créer des recettes hors ligne et les télécharger vers une station de données pour le transfert au CD-SEM; et
• Le CD-SEM doit permettre à l’opérateur de retirer une plaquette brisée de l’enceinte.

Hitachi SU8600 FE-SEM

• Le FE-SEM doit inclure un gestionnaire de données de logiciel pour permettre la prise de mesures de dimension critique pour une corrélation directe entre les systèmes CD-SEM et FE-SEM;
• Le FE-SEM doit inclure une fonction d’émission à champ froid accessible par ordinateur pour un clignotement contrôlé;
• Le FE-SEM doit inclure une résolution d’imagerie plus fine que 0,6 nm à 15 kV et que 0,7 nm à 1 kV;
• À tout le moins, le FE-SEM doit inclure une résolution de grossissement de x20 à x800,000 (polaroid) et de x20 à x2,000,000 (écran) ou mieux;
• À tout le moins, le courant de faisceau du FE-SEM doit être de plus de 70nA;
• Le FE-SEM doit avoir une configuration à grande chambre pour traiter des échantillons d’au plus 150 mm de diamètre;
• Le FE-SEM doit posséder Auto-Alignment et microscopie électronique (EM) de trésorerie pour le script;
• Le FE-SEM doit avoir l’étape de voyager avec 110mm sur l’axe des x et y, des fusils de calibre 40 sur l'axe Z et jusqu’à 70 degrés d'inclinaison;
• Le FE-SEM doit pouvoir pivoter sur 360 degrés;
• Le FE-SEM doit comprendre trois détecteurs d’électrons secondaires (ES) pour regrouper de multiples composants d’ES, entre autres des signaux d’électrons rétrodiffusés à un angle supérieur et des signaux d’électrons rétrodiffusés à un angle inférieur, ainsi que des détecteurs d’ES plus bas pour les images de topographie;
• Le FE-SEM doit inclure un détecteur d’ES supérieur pour images annulaires haute résolution à travers les lentilles et un détecteur d’électrons rétrodiffusés dans les lentilles à un angle supérieur;
• Le FE-SEM doit inclure une collection d’électrons rétrodiffusés à une tension d'accélération de 50 V;
• Le FE-SEM doit inclure une interface de communication externe;
• Le FE-SEM doit inclure un dispositif de filtration d’énergie pour le détecteur supérieur;
• Le FE-SEM doit inclure un détecteur situé dans le milieu de la colonne;
• Le FE-SEM doit inclure un système de montage en zigzag avec logiciel d’assemblage;
• Le FE-SEM à tout le moins, un affichage en direct à signaux multiples et à six canaux;
• Le FE-SEM doit inclure une saisie d’images HD (40,960x30,720 pixels) ou mieux; et
• Le FE-SEM doit faire part de l’algorithme exact pour caractériser les dimensions essentielles comme la CD-SEM.

4. Applicabilité des accords commerciaux à l'achat
Le présent achat est assujetti à l'accord commercial (aux accords commerciaux) suivants:

• Accord de libre-échange canadien (ALEC)
• Accord sur les marchés publics de l'Organisation mondiale du commerce (AMP-OMC) révisé
• Accord économique et commercial global entre le Canada et l’Union européenne (AECG)
• Accord de Partenariat transpacifique global et progressiste (PTPGP)
• Accord de continuité commerciale Canada-Royaume-Uni (ACC Canada-Royaume-Uni)
• Accord de libre-échange entre le Canada et le Chili (ALECC)
• Accord de libre-échange Canada-Colombie
• Accord de libre-échange Canada-Honduras
• Accord de libre-échange Canada-Corée
• Accord de libre-échange Canada-Panama
• Accord de libre-échange Canada-Pérou (ALECP)
• Accord de libre-échange Canada-Ukraine (ALECU)

5. Justification du recours à un fournisseur sélectionné à l'avance:
Le Hitachi CD-SEM CS4800 et le Hitachi SU8600 FE-SEM sont les seuls outils connus qui satisfont à toutes les exigences minimales essentielles décrites dans le présent préavis. Hitachi est le fabricant d’équipement d’origine (FEO) de ces outils. La société possède tous les droits de propriété intellectuelle connexes et est le seul fournisseur connu qui peut offrir des outils qui répondent à toutes les exigences essentielles minimales indiquées dans le présent préavis.

6. Exception(s) au Règlement sur les marchés de l'État
L'exception suivante (ou les exceptions suivantes) au Règlement sur les marchés de l'État est (sont) invoquée(s) pour cet achat : 6d) « une seule personne est capable d'exécuter le marché »).

7. Exclusions et/ou raisons justifiant le recours à l'appel d'offres limité
Les exclusions et/ou les raisons justifiant le recours à un appel d'offres limité suivantes sont invoquées en vertu de

• Accord de libre-échange canadien (ALEC) - article(s) Article: 513.1(b) (iii);
• Accord sur les marchés publics de l'Organisation mondiale du commerce (AMP-OMC) révisé - article(s) 1 (b) (iii);
• Accord économique et commercial global entre le Canada et l’Union européenne (AECG) - article(s) 19.12 (b) (iii);
• Accord de Partenariat transpacifique global et progressiste (PTPGP) - article(s) 15.10 , 2 (b) (iii) (s);
• Accord de libre-échange entre le Canada et le Chili (ALECC) - article(s) Kbis-09 (b),Article Kbis-09 (c);
• Accord de libre-échange Canada-Colombie - article(s) 1409 (b) (iii);
• Accord de libre-échange Canada-Honduras - article(s) 17.11 2 (b) (iii);
• Accord de libre-échange Canada-Corée - article(s) 14.3, Article XIII, 1 (b) (iii);
• Accord de libre-échange Canada-Panama - article(s) 16.10 (b) (iii);
• Accord de libre-échange Canada-Pérou (ALECP) - article(s) 1409 (b) (iii);
• Accord de libre-échange Canada-Ukraine (ALECU) - article(s) 10.13 (b)
• Accord de continuité commerciale Canada-Royaume-Uni : Consulter l’ACC Canada-R.-U., car ses dispositions sont incorporées par renvoi dans le présent préavis et en font partie intégrante. (AECG) - article(s) 19.12 (b) (iii)

8. Titre de propriété intellectuelle :
Le titre de propriété intellectuelle découlant du contrat proposé reviendra à l'entrepreneur.

9. Période du contrat proposé ou date de livraison
Les produits livrables doit être livré d’ici le 31 mars 2023.

10. Nom et adresse du fournisseur sélectionné à l'avance
Hitatchi High-Tech Canada
89 Galaxy Blvd,
Suite 14
Toronto, ON
M9W 6A4

11. Droit des fournisseurs de présenter un énoncé des capacités.
Les fournisseurs qui estiment être pleinement qualifiés et prêts à fournir les biens, les services ou des services de construction décrits dans ce PAC peuvent présenter par écrit un énoncé des capacités à la personne-ressource dont le nom figure dans cet avis d'ici la date de clôture, laquelle est aussi précisée dans cet avis. L'énoncé de capacités doit clairement démontrer que le fournisseur satisfait aux exigences publiées.

12. Date de clôture pour la présentation des énoncés des capacités
La date et l'heure de clôture pour l'acceptation d'énoncés des capacités sont 14 h le 1er avril 2022

13. Demande de renseignements et présentation des énoncés des capacités
Les demandes de renseignements et les énoncés des capacités doivent être présentés à:
Stephen VanDenHanenberg - Agent d'approvisionnement
140 O’Connor St.
Ottawa, ON
Téléphone: (numéro sur l'avis officiel)
Courriel: (courriel sur l'avis officiel)
Date de livraison : Indiquée ci-dessus

L'État fait savoir par la présente qu'il a l'intention de n'inviter à soumissionner que l'entreprise susmentionnée et de ne négocier qu'avec elle. Pour de plus amples renseignements concernant ce marché, communiquer avec l'agent de négociation des marchés dont le nom est indiqué ci-dessus.

Un préavis d’adjudication de contrat (PAC) permet aux ministères et aux organismes de publier un avis, pendant un minimum de quinze (15) jours civils, pour informer la collectivité des fournisseurs de leur intention de passer un marché pour un bien, un service ou des travaux de construction à un fournisseur sélectionné d’avance. Si pendant la période d’affichage, aucun fournisseur ne présente d’énoncé de compétences répondant aux exigences précisées dans le PAC, l’agent de négociation des marchés pourra alors procéder à l’attribution du marché. S'il est jugé, toutefois, qu'un énoncé de compétences répond aux exigences précisées dans le PAC, l'agent de négociation des marchés doit lancer le processus complet d'appel d'offres.

Les fournisseurs qui estiment être pleinement qualifiés et prêts à fournir les produits ou les services décrits dans cet avis peuvent présenter un énoncé de compétences à la personne-ressource dont le nom figure dans le présent avis d'ici la date de clôture, laquelle est aussi précisée dans l'avis. L'énoncé de compétences doit démontrer clairement la façon dont le fournisseur compte s'y prendre pour répondre aux exigences indiquées dans le préavis.

Le numéro de dossier de TPSGC, le nom de l'agent de négociation des marchés et la date de clôture du préavis d'adjudication de contrat (PAC) doivent figurer en lettres moulées sur l'enveloppe, ou sur la feuille d'accompagnement, s'il s'agit d'un envoi par télécopieur.

L'État se réserve le droit de négocier les conditions de tout marché avec les fournisseurs.

Les documents peuvent être présentés dans l'une ou l'autre des langues officielles du Canada.